深圳芯片材料国产化重大突破！高纯石英首次打入DRAM大厂：用于300mm晶圆
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2026-09-27 22:05:48
9月11日消息，芯片据报道，材料纯石次打厂用江苏太平洋石英股份有限公司的国产炉管系列产品，已通过国内一家头部DRAM制造商的化重认证，可用于300毫米晶圆生产。大突
太平洋石英此次认证的破高意义在于，这是英首于m圆国产高纯石英首次进入晶圆制造的核心工艺环节。此前，芯片其产品已向泛林集团、材料纯石次打厂用东京电子等国际半导体设备巨头批量供应，国产包括LPCVD扩散管、化重晶舟、大突石英锭等，破高纯度达4N5至5N级。英首于m圆
此次通过DRAM厂商认证，芯片标志着从石英砂提纯、炉管加工到供应晶圆厂的完整链条已基本实现国产化。太平洋石英自2009年起与南京大学团队合作，历经6年攻关，将超纯石英砂纯度做到99.999%，填补了国内空白。
然而，报道同时指出一个关键差距。太平洋石英的产品用于硅片制造完成后的晶圆制造环节，而半导体硅锭拉制所需的石英坩埚则处于更上游的硅片生产阶段，对纯度要求更高，需达5N以上且对关键杂质限制极为严格。
目前此类石英的大规模供应，仍被美国北卡罗来纳州Spruce Pine小镇的Sibelco和The Quartz Corp.垄断，两家合计控制全球超90%的高端石英砂市场。
业内分析认为，太平洋石英尚无法生产用于生长9N至11N纯度硅片的高规格坩埚。中国半导体材料在坩埚这一更上游的关键环节上，仍需时间实现突破。
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